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2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献
『SPE-2136A』はφ4~φ6インチウエハに対し、 残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能なプラズマクリーナー装置です。 自動搬送機構が付属しており、ウエハ割れの防止や ウエハ移載にかかる人件費・作業時間を削減可能。 プロセス室はウエハを2枚同時に処理でき、 高いスループットを実現しています。 【特長】 ■1400(W)×3000(D)×1900(H)mmのコ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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