凹凸面対応のフォトレジストスプレーコーター装置『IS型シリーズ』

半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！　　　　　　　　　　　　 …

～100μmの膜厚形成が可能（フォトレジスト・FC触媒膜） ■効率75%と飛躍的に高い液使用効率（対比：スピンコートでは数%） ■数cc程度の少量の希少材料でもコーティングが可能 ■特殊間欠と筆安定塗布が可能（分散液・FC触媒液他） エーシングテクノロジーズでは機能薄膜コーティングのソリューションをご提案しています。周辺技術のコンサルタントと研究支援を承っております。 ※下記、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所