高精細ポリイミド・コーター『Twin-air』

ツインエアー方式！独自技術のセルフサックバックで液だれ、濡れ上がり無し

『Twin-air』は、極微量滴下を可能にしたツインエアー方式の 高精細ディスペンサーです。 ポリイミド使用量を削減し、大幅なコスト削減。必要な位置に、必要な量を、 高精度にコーティング可能です。 また、ウエハ全面にパッシベーション厚膜コートを実現し、様々な高粘度液剤の 塗布に対応しています。 【特長】 ■ピコリットルオーダーの極微小吐出が可能 ■モジュール／チップレベ...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社