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紫外線分光放射照度計測システム UVpad / UVpadE
深紫外からのスペクトル測定に対応した高機能ポータブル計測器
ドイツ・Opsytec社のUVpadシリーズは、本体を直接紫外線照射装置に設置して、スタンドアローンで測定できる紫外線分光放射計です。深紫外(DUV/Deep-UV)からUVC、UVB、UVA、可視域(VIS)をカバーしており、UVpadは200-440nm、UV...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルゴ
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フォトレジストの高度な評価を行う、さまざまな装置を提供します。
脱保護反応解析装置 PAGAシリーズはPEB及び248mm露光によるin-situ反応解析、脱保護反応パラメータ算出機能。FT-IR室内にベークプレートを配置し、加熱し ながら官能基の変化を観察で来ます。また、紫外線(248nm)照射装置も搭載されており、露光中における酸発生のメカニズムなどの解析にも利用できます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○P...
メーカー・取り扱い企業: リソテックジャパン株式会社
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UV(紫外線)照射装置のランプ強度管理に用いるUVチェッカーです。
本器の測定値に基づきコンベア速度やランプの強度分布・交換時期を管理することにより製品の歩留まり向上が図れます。...●メタルボディーの耐熱設計にくわえ、防熱カバーが標準付属ですのでより安定した正確な測定が可能。 また受光部は目的の波長に合わせて3タイプを選択・交換することができます。 ●1台3役。リアルタイム照度値、ピーク値、積算値の測定が行えます。 ●オプションの延長ユニットで受光部と離れ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シロ産業
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