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LCD・ウェーハ基盤の枚葉洗浄に最適
【特徴】 ○従来のUSシャワーに比べ 約5倍の超音波強度(当社比)が得られ、洗浄効果が大幅にアップ ○枚葉式LCD洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能 ○0.2μm以下のパーティクルを ハイ・メガが除去し、超精密洗浄が可能 ○高周波(950kHz)で被洗浄物へのダメージが極めて少ない ●その他機能や詳細については...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カイジョー ODM事業部
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