各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特長】 ■生産設備・研究開発向けの高温処理炉 ■半導体製造や太陽電池製造などに...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

石英ガラス製品　バーナー火加工製品

次世代装置にも対応

縦型反応管用大型電気炉で大口径化に対応...【特徴】 ○火加工製品の溶接加工では、製品サイズによって、バーナーの形状や口径が選択され、 　溶接後は、速やかに電気炉でアニール処理（焼きなまし）が行われます。 ○蔵王工場では、ウェーハの大口径化に伴い、縦型装置部品用の大型電気炉やガラス旋盤を保有し、 　各種反応管やウェーハ保持用ボート類への対応が可能です。 ○近年の微細化プロセスに対応すべく...

メーカー・取り扱い企業： テクノクオーツ株式会社