耐プラズマ性 | イプロスものづくり

PR難燃性・屈曲性に優れた高機能耐熱ホース（最高1,100℃）は、プラズマ…

弊社ドイツ製高機能耐熱ホースは、125℃～最高1,100℃に対応可能な約20種類の豊富なラインナップがございます。中でも難燃性・屈曲性・耐久性に優れた耐熱ホース製品は、プラズマ切断機、ガス切断機、溶接ロボットのヒューム回収用で実績があります。その他、フレキシブル性に富んだ高温排気ガス抽出用ホースもご用意をしています！【実現できること】 ◎ヒューム吸引用の塩ビ（PVC）ダクトホース...

メーカー・取り扱い企業：エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社栗田製作所本社・京都事業部

プラズマ溶射による耐食・耐摩耗加工

セラミック（酸化クロム、グレーアルミナ、アルミナ等）を施工

部品の修理、再生、延命、メンテナンスに心がけ予防医療の様に部品の高品質化、耐磨耗、耐熱、防触等の機械の高度化を目的とする研究開発を行っている光栄テクノシステム社『プラズマ溶射による耐食・耐摩耗加工』のご案内です。不活性ガスの電離により発生したプラズマ炎を熱源とします。超高温、高速のフレームにより、金属はもちろん、サーメット、セラミックスなどの高融点材料においても高密度、高品質な皮膜を形...

メーカー・取り扱い企業：光栄テクノシステム株式会社

耐プラズマ性OリングフロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材…

優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノンフィラータ...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社

最高クラスの品質の非粘着・離形性処理！プラズマコーティング

オーダーメイドのコーティング仕様を提供！幅広い産業分野で使用されていま…

『プラズマコーティング』は、アメリカ生まれの非粘着・離型性コーティング技術です。離型性・グリップ力・滑りやすさ・耐摩耗などの特性を与え、それらを組み合わせることも可能。鉄やSUS・アルミなどの金属はもちろん、 CFRPやエンジニアリングプラスチックにも施工できます。使用可能な材料が豊富であることに加え、離型（離形）剤の種類も多種多様なので、幅広い要求にお応えします。 ...

メーカー・取り扱い企業：カンメタエンジニアリング株式会社

耐熱性・耐寒性に優れた表面処理とは？

連続最高使用温度は260℃！高温または超低温での使用が可能なコーティン…

【特長】 <PBI、PIコーティング> ■耐プラズマ性 ■電気絶縁性 ■耐熱性 ■耐水性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社吉田ＳＫＴ

国際電業　プラズマ自動切断機

耐ノイズ性・信頼性にも優れ、微細切断を可能にしたプラズマ自動切断機

「プラズマ自動切断機」は、独自設計の専用ＮＣ制御装置搭載、耐ノイズ性・信頼性にも優れ、切断移動距離に応じた速度調整による微細切断を可能としました。「ＮＣ側での切断速度可変機能」「加工原点の自由度向上」「ＮＣ操作による定寸切断機能」「ＮＣ側での板厚変更・現場変更機能」などの操作性を重視した新たな便利機能搭載。制御盤の配置がレイアウトに応じて柔軟に対応し、工場に応じた制御盤配置が可能です。機械剛性の向...

メーカー・取り扱い企業：国際電業株式会社

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

緻密で耐プラズマ性の高いイットリア膜やＳｉＣ膜を高速形成。高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

溶接・溶射工事『リペア＆メンテナンス・サービス』

自社工場内でも、出張施工でも、お客様の設備環境に合わせた最適な溶接・溶…

当社では、設備の摩耗に対し、専門的な知識と技術で補修を行う『溶接・溶射工事　リペア＆メンテナンス・サービス』を行っています。アーク被覆溶接やTig溶接などの「溶接法」、アークワイヤ溶射などの「溶射法」といった技術を用い、それぞれの課題に合った施工方法を提案。お客さまに代わり保全スペシャリストによる問題解決を実施し、摩耗対策へのコストダウンにも貢献します。耐摩耗性や摺動性...

メーカー・取り扱い企業：ユテクジャパン株式会社

イットリアコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）

耐プラズマ性に優れたイットリア（Ｙ２Ｏ３）膜をＰＶＤ法で形成。新開…

新開発アークフィラメント型イオンプレーティング法により緻密な酸化膜の厚膜（１０μｍ）を低温で形成半導体製造装置部品に対応した優れた耐プラズマ性をもつイットリア膜の成膜に対応。イオンプレーティング法によるシンプルなプロセスで緻密な膜質を実現。イットリア膜だけでなくＳｉＣやＴｉＣ、ＣｒＮなどの各種反応膜を固体金属材料より形成可能。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

加工技術　超耐食性アルマイト

アルマイト皮膜上に耐食性、耐プラズマ性を有するヤギマイトを開発しました…

ギマイト)を開発しました。この封孔処理層の形成により、アルマイト皮膜の性能が飛躍的に向上しました。耐アルカリ性に優れているヤギマイトは従来の約5倍の耐食性があり、従来のアルマイト皮膜より耐プラズマ性も1.3倍向上します。また、封孔度に優れているため、質量減もありません。【特徴】 ○封孔処理層(ヤギマイト) ○アルマイト皮膜の性能が飛躍的に向上 ○耐アルカリ性に優れ、従来の...

メーカー・取り扱い企業：中国電化工業株式会社

スリットバルブシール

、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬　品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業界向けの製品群の１つとして、製造装置の成膜工程などの処理チャンバー内にウ...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社

【開発】セラミックDIPコーティングで厚膜イットリアを実現

半導体製造工程での耐プラズマ性向上、溶融金属へのセッター、るつぼ、ロー…

MLCCやフェライト部品など焼成用各種セッター、半導体製造装置向耐プラズマ、各種金属溶解用るつぼ、搬送ローラー、各種石英部品等。一般的には困難であったセラミックスのディップコーティングを開発、各種ファインセラミックスから石英、疎水性である等方性黒鉛や耐火物類への厚膜コーティングが可能となります。特徴１．独自ディッピング技術により形状自由度、基材との密着性大、膜厚均一性大、膜...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

プラズマ溶岩コーティング装置（STV6301スパッタリング装置）

最新プラズマ技術で桜島溶岩をコーティング。天然由来の機能性表面処理。あ…

マグネトロンスパッタリングにて桜島溶岩をコーティング。天然由来の溶岩を先端表面処理に応用。溶岩の特性をいかした熱的・化学的に安定な薄膜を形成。各種素材（金属・ガラス・繊維）上に装飾膜（透明・干渉色）親水膜を実現。天然素材のため人体にアレルギーがなく、素材の変質・変色を防止。食器の表面処理に実用化されており、市場の拡大が期待されています。また赤外線の及光率にすぐれており繊維のコーティング...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【溶射事例】　耐薬品性

化学機器装置等に耐薬品に対する環境遮断を目的とした溶射がなされます。

溶射とは、金属やセラミックス、サーメットなどをさまざまな熱源を用い溶融噴射し、基材表面に材料を噴きつけて機能皮膜を形成する表面改質技術です。金属材料などがさまざまな薬品環境にさらされた時、化学反応によって質量が減耗したり、変化する現象が起こります。化学機器装置などには、耐薬品に対する環境遮断を目的とした溶射がなされています。溶射皮膜は気孔がある為、100％環境遮断することはできません。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シンコーメタリコン

【表面処理】金属系溶射

Ni系やCo系、Fe系はもちろんのこと、コバール（kovar）やパーメ…

■溶射材料：金属系（ニッケル、カーバイド、鉄等） ■溶射方法：アーク溶射、プラズマ溶射、高速フレーム溶射 ■施工効果：下記に一例　ニッケルクロム・・・・・・・防食性（耐腐食性）、耐候性　タングステンカーバイド・・・高硬度、耐摩耗性　クロムカーバイド・・・・・・高温環境下での耐摩耗性、防食性（耐腐食性）　鉄・・・・・・・・・・・・・誘導加熱　アルミニウム・・・・・・・・防食性（耐腐食性）、...

メーカー・取り扱い企業：富士岐工産株式会社

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー