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半導体製造工程での耐プラズマ性向上、溶融金属へのセッター、るつぼ、ロー…
置向耐プラズマ、各種金属溶解用るつぼ、搬送ローラー、各種石英部品等。 一般的には困難であったセラミックスのディップコーティングを開発、 各種ファインセラミックスから石英、疎水性である等方性黒鉛や耐火物類への厚膜コーティングが可能となります。 特徴 1.独自ディッピング技術により 形状自由度、基材との密着性大、膜厚均一性大、膜表面における面粗度大。 ※コーティング対象物の設計自由度は...
メーカー・取り扱い企業: ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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【開発】厚膜50μイットリアを複雑形状でのコーティング実現!
半導体製造装置での耐プラズマ・耐腐食・石英部品の長寿命化、溶融金属・電…
置向耐プラズマ、各種金属溶解用るつぼ、搬送ローラー、各種石英部品等。 一般的には困難であったセラミックスのディップコーティングを開発、 各種ファインセラミックスから石英、疎水性である等方性黒鉛や耐火物類への厚膜コーティングが可能となります。 【特徴】 ■独自ディッピング技術により形状自由度 ■基材との密着性大 ■膜厚均一性大 ■膜表面における面粗度大 ※詳細は下部資料に記載...
メーカー・取り扱い企業: ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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