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PR薄膜の厚さ分布を高速測定!
FALCO 膜厚2Dマッピングシステムは、おもにガラスや半導体ウェーハ上に形成された薄膜の厚さ分布を高速に、 また高い分解能で測定することのできるシステムです。 条件にもよりますが、数nmの薄膜からμmオーダーの比較的厚い領域(Si 換算)まで、 高い精度で値を確定することができます。...分解能: 0.001 nm 精度: NIST準拠ウェハ1000 nm<±1% 再現性: 0.01 nm(ア...
メーカー・取り扱い企業: オプトシリウス株式会社
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PR小ロットからの対応可能です。特殊なエピ、多層エピなどにも出来るだけ対応…
「エピウェーハ」 1. ディスクリートデバイス向けや IC powerデバイス向けに使用されております。 *直径: 100-200 mm *Epi層ドーパント: Boron 、Phosphorous *Epi層抵抗値: 0.01-500 Ω/cm *Epi厚: 1-150 um *Stacking fault: 10 /cm2 以下 *Thickness Uniformity: ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エナテック 東京本社
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中古計測器:膜厚測定器/流量測定器/厚さ測定器
※詳しくは(写真、オプション品など)、お問い合わせください。【注意事項】 状態 詳細 付属品等につきましてはお問い合わせください。 ...【特長/仕様】 特長/仕様はメーカーカタログから一部抜粋。詳細はお問合せ願います。 ●仕様 FLC用及びFSC用大型センサ内径φ200から3000mm(V法)-40から+80℃内径φ200から6000mm(Z法)5m信号ケーブル×2本付(センサに実装)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社メジャー
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