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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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豊富な製品群の高電圧電源、RF電源をラインアップ!半導体製造装置など様…
当社が取り扱う、XP Power社製の半導体製造用の高精度電源について ご紹介です。 XP Power社は様々なタイプの電源ソリューションを提案していますが、 その中には高電圧電源、RF電源といった特長的な製品ラインアップを 取り揃えています。 電気泳動、薄膜堆積、薄膜蒸着など様々な市場で幅広く用いられています。 【高電圧電源 特長】 ■低ノイズ、高い安定性 ■最大60...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社理経
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