小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

金属蒸着用EBガン EGNシリーズ

メンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源で…

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度　270° ○るつぼ数　6 ○冷却水量　10L/min ○外形（W×D×H）　260mm×340mm×144mm ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

光学用EBガン EGP-1G

コストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVA…

EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度　180° ○冷却水量　10L/min ○外形（W×D×H）突起部含まず　185mm×239mm×179mm ○重量　1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.