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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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各種基板に応じたコートを行うことが可能な、蒸着装置を各種保有しており、…
●各社要求事項に合わせ、イオンアシスト、プラズマアシスト、スパッタ等信頼性の高い成膜での量産対応が可能です。 ●薄板ガラス(0.145T等)での成膜も対応可能です。 ●アシストコートにより、耐熱によるノンシフト膜の生産が可能です。 ●高い密着強度及び膜硬度並びに耐熱性を有します。 ●高い環境信頼性特性を有します。 恒温恒湿(1000h)他、ヒートサイクル・高温保管・低温保持等 ●各種リ...
メーカー・取り扱い企業: 松浪硝子工業株式会社
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