小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

東北大学技術：ナノカーボン材料：T05-066

効率よく、連続プロセスで、カーボンナノカプセルを作れます！

ナノ粒子を作製する従来技術として、アーク放電、レーザーアブレーション、化学蒸着（ＣＶＤ）、炭化水素炎などの方法が知られている。これらの生成方法は 、何れも乾式処理と呼ばれ、１．高価な真空容器が必要、２.バッチプロセスであり製造効率が低く量産性に劣る、という問題がある。 本発明は、乾式処理のような高価な製造設備を必要とせず、生成と回収の連続プロセスが可能な製造効率、量産性に優れた、超音波キャビテー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ