小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

双扉式蒸着重合装置「MDP2015」

大型基板に対応！シンプル&ハイタクトは生産性重視の樹脂性基板成膜装置！

「MDP2015」は、樹脂基板に抵抗加熱蒸着法によるアルミニウムなどのメタル膜を成膜後、腐食を防止するポリマー保護膜をプラズマ重合によりせい膜する装置です。 扉を左右に二つ設けることにより、プロセス中にワークの交換と蒸発物の装着を効率的に行えます。 装置構成の最適化により、高生産性・低ランニングコストを実現します。 【工程概要】 ■ワークを取り付け、扉を閉じて排気 ■プラズマ放電によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル