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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能!
【特徴】 ・従来技術の真空蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術 ・低温で低エネルギー照射が可能 ・曲面や立体にも成膜が可能 【主な用途】 ・超硬工具用保護膜(c-BN) ・食品用バリア膜(アルミ) ・太陽電池用下地膜(アルミ) ・光学用フィルタ膜(ZrO₂、AI₂O₃等) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...装置販売...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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