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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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合金ターゲット不要 皮膜をソフトウェアで制御
最大4本の回転円筒カソードを搭載し、皮膜の組成比をソフトウェアで制御可能な唯一の装置。用途に適した皮膜のチューンナップや独自皮膜の確立に貢献します。...【主な特長】 1. 標準工具からホブ、タップ向け皮膜の最適化が可能 2. アークとスパッタリングの同時蒸着が可能 3. DLC、酸化物、スパッタリングに対応する最高の自由度 ※詳しくはカタログのダウンロードもしくはお気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: YKT株式会社
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