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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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開発・試作の小ロットから大量生産まで幅広い設備ラインナップと保証測定機…
国内2拠点を有し、ご希望する薄膜製品の安定した受託生産が可能です。 Φ1800型真空蒸着装置:多数 , Φ1300型真空蒸着装置:多数 , Φ850型真空蒸着装置:1台 , 低真空スパッタ機:1台 主軸となる真空蒸着装置は全機イオンアシスト機構を搭載した多層膜機で、試作用途に多用してい...
メーカー・取り扱い企業: 京浜光膜工業株式会社
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