微小流量コントローラ『Z3000型』

流量計に熱式流量計を採用！1～25ｍL/minの微小領域のコントロール…

ーム状態の確認ができます。 【特長】 ■1～25mL/minの微小領域のコントロールが可能 ■バルブユニットとコントローラユニットを一体型 ■小さいスペースで取り付けが可能 ■LED表示灯により、電源状態、流量制御状態、アラーム状態を確認できる ■通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより 　動作状態とアラーム状態の確認ができる ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： サーパス工業株式会社 本社