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熱物性を測定することで、薄膜の厚みが評価できます!
薄膜の厚みを評価する場合、当社では、表面粗さ計を用い評価を行っていますが、 表面粗さ計を用いた場合、薄膜を成膜する基板に何らかのマスクを施し、 成膜されていない部分を作って、成膜部分との段差を調べます。 透明な薄膜の場合、光の干渉を用...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ベテル ハドソン研究所
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