「Yano E plus」2018年2月　次世代ナノインプリント

定期刊行物「Yano E plus」の 2018年2月号です。

幅は、原理的にも技術的にも限界に近づいてきている。 たとえば、最近では、複数回に分けて露光するマルチパターニング技術が実用化されているが、従来に比べ複雑かつ多くのプロセスを経ることから、コスト増の要因となっている。。。。 資料体裁：B5判約100～130ページ　発刊頻度：月1回発刊（年12回） 販売価格：97,142円(税別)(1ヵ年)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社矢野経済研究所