シリコン（Si）スラッジ乾燥品

シリコンウエハー切削工程から排出されるSiスラッジの乾燥品

シリコンウエハー切削工程から排出されるSiスラッジを、含水率２０％程度までに乾燥させたSiスラッジの２次凝集品です。 ボールミル等で、簡単に解砕できます。 高純度シリコンウエハーの切削物であるため、元々、不純物濃度は極めて低く、切削工程中で金属不純物の混入が有りますが、Si純度は９９％以上（C/Oを除く）を維持しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本NER株式会社