キャリアレス洗浄装置

全自動キャリアレスウエハー洗浄装置

搬送キャリアよりウエハーを抜き出し ウエハーのみを洗浄する事が可能な キャリアレス式洗浄装置です。...多種多様な薬品仕様で製作可能。 装置寸法も設置スペース合わせ検討致します。 キャリアストック数、温水加熱器、薬液供給ユニット 濃度計等オプション追加可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エムテクノロジー 京都本社