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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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PR特許取得のロック機構で止めた位置から微動しないステージ。ロングストロー…
バリエーション豊富で多彩な組み合わせができる「アリ溝式ステージ」に、 ロングストロークでストッパー不要の『SLXシリーズ』が加わりました。 位置調整後にステージをストップする特許取得のセルフロック機構を搭載。 手動ストッパーやクランプ操作による微動・位置ずれの心配がありません。 高い位置決め精度での加工・検査が求められる用途や、 位置調整後に長時間確実に固定したい用途で活躍します...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ミラック光学
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素早くコスト効率の良いバリ取り!質量流量制御による正確なガス計測が可能…
最高使用圧力24bar、サイクルタイム30~60秒までの複数の チャンバーサイズをご用意しております。 【特長】 ■一貫した再現性のある内部バリ取りを達成 ■質量流量制御による正確なガス計測が可能 ■クロジャープレートを油圧にて密封 ■拡張可能なプログラマブルロジックコントローラ (PLC)/HMI ■騒音抑制付きハウジング ■後洗浄と組み合わせたTEMのプロセス全体の生産性の...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エクスツルードホーン 埼玉県
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