極微小リーク分析

極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご…

刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクス としてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を 求められるものとなっております。 MEMSセンサーデバイス(封止デバイス)への気体混入(リーク)は僅かでも 劣化し信頼性を著しく損なう可能性があります。 信頼性を担保するためには、破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)の 極微小リー...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社