ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ

最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実…

nEXTターボ分子／複合分子ポンプおよびEXCコントローラは、最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高／超高真空を実現します。 ターボ分子ポンプ(TMP)は、マルチステージの軸流タービンであり、高速回転するブレードが排気方向へ移動するガス分子の確率を高めることによって圧縮をもたらします。 複合分子ポンプ(CMP)は、ブレードが付属するターボ分子ステージと分子ドラッグステージを同一ロ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社