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    ナノシリコンの最新技術と応用展開

    ナノシリコンの最新技術と応用展開

    5. NEMSとナノデバイス 6. トンネルデバイス 7. 弾道電子エミッタによる並列EBリソグラフィ 8. 弾道電子エミッタの気体中動作による真空紫外光発生 9. 弾道電子エミッタの超高感度撮像への応用 10. ナノシリコン電子源の水溶液中動作 第3章 アコースティクス 第4章 バイオ応用 第5章 プロセス技術 1. プラズマ技術によるナノシリコンドットの作製 2. ナノ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社AndTech

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