ミリオンアクチュエータ 超小型15角サイズ

アライメントステージのX・Y・θ軸の調整等に！超高精度とコンパクトの両…

する直動のアクチュエータです。 高精度な幅広ローラの採用により、従来のボールタイプに比べ接触面積が 大きいため、3倍以上の高剛性を実現。また、剛性を保ちながら低予圧化に成功。 これにより転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を達成しました。 その高い送り制度を活かし、露光機のミラー・レンズ・テーブルの高精度位置 決めにミリオンガイドが採用されています。 【特長】 ■超...

メーカー・取り扱い企業： テックトレーディング株式会社

電動アクチュエータ『PC』

装置の省スペース化・高精度な動きが可能！高推力のシリンダタイプPCを短…

り案内のスプライン軸受で、軸に設けられた 溝をボールが転がることで大きな許容荷重が得られ、直線運動を行いながら トルク伝達もできる製品です。 精密ボールねじは、ねじ軸とナット間でボールが転がり運動をするため高い 効率が得られ、高精度な位置決めができる製品です。 【特長】 ■コンパクトで高精度・高剛性を実現 ■装置の省スペース化・高精度な動きが可能な高推力のシリンダタイプ ...

メーカー・取り扱い企業： テックトレーディング株式会社