半導体製造関連　【半導体ウェハ自動搬送装置】

検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。除振機構を採用、検査…

キャリアからウェハを取り出し、プリアライメントで位置補正し、検査部にウェハを供給します。検査後、ウェハを自動退出させ、キャリアの元の位置へウェハを格納します。 ◇プリアライメント機構　XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル 当社は、開発・設計から組立、そして納品後のメンテナンスまで、一貫したサービスをご提供します。大切な設備に付加価値を与えて、お客様の省...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

電動アクチュエータ GLM（リニアモータ）[THK公式］

高推力・高加減速を実現

"THKの電動アクチュエータ リニアモーターシリーズ　GLM（コア付フラットタイプ）は、ボールねじ駆動では対応できないロングストロークに対応できます。ベースをつなぎ仕様にすることで４ｍ以上のストロークも可能です。リニアモータ採用による高速・高加減速、リニアエンコーダ採用による高精度の実現、独立制御可能なマルチスライダを採用しています。これらの特長より、ロングストロークでも高速動作が必要な液晶ガラス...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社