組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

チェックバルブ（逆止弁）　『H-400シリーズ』

ステンレス316製、コンパクト設計、高圧対応チェックバルブH-400＆…

H-400シリーズは、計装パネルおよびシステム向けのコンパクトな設計で、正確な動作ポイントを持ちます。H-400チェックバルブ（逆止弁）は通常は閉じており、入口側と出口側の差圧がスプリングの設定圧力より大きくなると、スプリングの押しつけ方向とは逆方向にポペットが移動し、バルブ内の流路が開いて流体が流れるようになります。また、豊富...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

高純度ライン用チェックバルブ（逆止弁）『CMWシリーズ』

半導体製造装置の要求するクリーン度で対応。ステンレス316L製、高純度…

CMWはシリーズは、高純度アプリケーション用に開発された溶接型コンパクトチェックバルブ（逆止弁）です。完全溶接設計の為、流体を外部リーク無く確実に保持します。電解研磨品もご用意しております。 ＜特長＞ ・半導体製造装置の要求するクリーン度で対応 ・流体をリークなく確実に保持する完...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン