組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

スラリーポンプ　「yory（ヨーリー）」

コンタミがないスラリーポンプです。摺動部がなく分解・洗浄性に優れている…

つのポンプで多種多様な送液が可能です。 ・Φ0.1mm程度の粒子を含むスラリーも送液可能です。 ・お客様のご要望に応じて解決策を提案いたします。 【仕様】 接液部材質： 　ベローズ＆逆止弁・・・・PTFE 　その他ポンプ部分・・・・SUS 駆動：エアーまたは電気 【適用条件】 輸送量：～7.2L/min 耐久圧力：～0.1MPa 輸送粘度：～10,000mPa・s ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良機械製作所