組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

チェックバルブ　「樹脂型逆止弁VC-P」

小型･軽量の逆止弁（外径φ18、約3g）　特殊仕様対応可能！

逆止弁「樹脂型逆止弁VC-P」は、外形φ18、約3gと小型･軽量で、1kPa 以下とクラッキング圧が極めて低く、10kPa 時に1mL/min 以下と非常にリークが微小になっています。本体の材質はポリアセタールで、ゴム部分の材質はEPDM、耐圧は最大250kPaとなっています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 日東商事株式会社

チェックバルブ「金属逆止弁ＶＣシリーズ」

ほとんど逆流しない！流れに対する圧力損失が極めて小さい逆止弁　特殊仕様…

逆止弁「金属型逆止弁VCシリーズ」は、順流に対してスムーズに流れ逆流には閉止し、ほとんど逆流いたしません。そして、極めて低いクラッキング圧力を実現しており、流れに対する圧力損失も極めて小さくなっております。また、チャタリングを抑えた構造となっております。詳しくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 日東商事株式会社