組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

【取付自在な逆止弁！】テフロンライニングスプリングチャッキバルブ

スプリング構造で逆流防止。縦・横・斜め、様々な角度に設置できます。バル…

【FF-LCS】は、一次側・二次側が無圧の状態でもしっかりと閉止できる、全面テフロン（PFA）ライニングのスプリングチャッキバルブです。 本体内面の接液材をすべてPFAにすることで耐久性と清浄性を両立し、液体の危険性が高い廃液配管や薬品配管ライン、超純水ラインなどでご使用いただけます。 【ポイント】 耐薬品性 PFAテフロンが持つ耐薬品性によって、腐食や劣化リスクを極限まで抑えるこ...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社

【詰まりのリスク回避】シンプル構造のPTFEライニングバルブ

シンプル構造で逆流防止。危険性が高い廃液配管や薬品配管ラインや超純水ラ…

【FF-LCB】は、異物が含まれる流体でも詰まりのリスクを回避できる、PFAライニングボールチャッキバルブ（check valve 止水弁 逆止弁 チャッキ弁）です。 本体内面の接液材をすべてPFAにすることで耐久性と清浄性を両立し、液体の危険性が高い廃液配管や薬品配管ライン、または高い純度が求められる半導体・純薬品・超純水ラインなど...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社