組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

オイルフリー容積式スクリュブロワ『アトラスコプコZSブロワ』

スクリュによる連続的な内部圧縮を行うため、全断熱効率が高く省エネルギー

リュを電動機直結で 回転し、油分を含まない圧縮空気を発生させる、オイルフリー容積式の スクリュブロワです。 本技術は、パッケージ内に吸込フィルタ、スクリュ圧縮部、電動機直結型減速機、 逆止弁、サイレンサ、オイルポンプなどブロワの運転に必要な補機類が収納 されたパッケージ型のブロワと、回転数制御を行うブロワ制御盤で構成 されています。 【特長】 ■高効率で省エネルギー ■...

メーカー・取り扱い企業： アトラスコプコ株式会社 コンプレッサ事業本部