組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

【資料】チラー便覧-バルブの種類と特長/アピステ

流体の流れ量・方向・圧力などのコントロールをおこなうバルブについて分か…

　(4) バタフライバルブ 　(5) 構造の違いによる特長一覧 　(6) ボア径（バルブ内径） 4-3　特殊用途のバルブ 　(1) 三方バルブ（方向切替弁） 　(2) チェックバルブ（逆止弁、チャッキバルブ） 　(3) フートバルブ（フート弁） 　(4) エア抜きバルブ（空気抜き弁、エアベント） 　(5) リリーフバルブ（リリーフ弁、安全弁） (6) 減圧バルブ（減圧弁...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピステ