組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

世界最小のマイクロ逆止弁構造を実現

３Dプリンターでも不可能な異材質複合化

・加工限界とされてきたΦ2.5ｍｍの逆止弁を超え、更に小さなサイズの逆止弁がμ-MIM技術により量産可能です。 ・複雑な中空・アンダーカット構造もμ-MIM技術により、二次加工レスで、高精度にネットシェイプで量産できます。機械加工では実...

メーカー・取り扱い企業： 太盛工業株式会社