組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

トランク型管状炉 水平式／直立式 最高温度1300℃

■　ステンレス圧延板の本体 ■　最高温度1100℃ K熱電対 ■　…

作業管内の温度表示 ■　多種のガスパージセット、不燃性の保護ガス反応ガス雰囲気下および真空での運転向け ■　温度均一性を最適化するための3ゾーン型設計 ■　ガス排出口のチェックバルブ（逆止弁）はリークエアの侵入を防止 ■　発熱体の保護用、またはチャージを載せるためのセラミックシェル ■　連続炉として使用するための光学式温度計測 ■　直立式の動作のためのスタンド ■　ス...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

高温管状炉 水平式/直立式 最高温度1800°C

■　高温管状炉は水平式または直立式で選択していただけます。 ■　最高…

■　保護ガス動作、および真空動作のためのガス密閉フランジ ■　手動式、または自動式ガス化システム ■　最適な温度均一化のための3ゾーン設計（025Aのみ） ■　ガス排出口のチェックバルブ（逆止弁）はリークエアの侵入を防止 ■　直立式動作のためのスタンド ■　プロセスの要求に対応する作業管の設計 詳しくは、カタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

高温管状炉 SiC棒状発熱体 ガス雰囲気または真空

■　最高温度1500℃ ■　ステンレス圧延板の本体 ■　高品質のフ…

60519-2の熱保護クラス2準拠、 ■　炉とワークの過熱保護 ■　作業管内、および管背後の炉内温度測定によるチャージ調整、別紙参照 ■　ファイバープラグ ■　ガス排出口のチェックバルブ（逆止弁）はリークエアの侵入を防止 ■　水冷却の動作のためのフランジを備えた作業管 ■　追加の温度計による作業管内の温度表示 ■　保護ガスと真空動作用の交換ガスパッケージ ■　交換可能の作業管は別...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社