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高精度 高信頼性 ハイパワー測定用200mmオート・プローバー
高電圧、大電流（10kV/600A）アプリケーション用途に開発された一台...高電圧、大電流アプリケーション用途に開発された一台 ・10kV/600Aまでのオンウェハーでのハイパワーデバイス測定 ・接触抵抗の低い金メッキチャックを採用。最薄50 μmまでの薄形ウェハーを吸着できるよう真空穴を改良 ・Taikoウェハー搭載可能(オプション) ・高電圧/大電流測定用専用プローブ ・アーク放電...
メーカー・取り扱い企業： MPI Corporation
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