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化合物半導体の有機金属気相成長法の数値シミュレーション解析ツール
有機金属気相成長法(MOCVD)のプロセスシミュレーターPROCOM(プロコム)の事例を紹介。PROCOMは、流体力学(fluid dynamics)や質量(mass transport)および熱輸送(heat transport)、さらに非平衡ガス-ガス(non-equilibrium gas-gas)または非平衡ガス-表面(non-equilibrium gas-surface)化学反応(ch...
メーカー・取り扱い企業: クロスライトソフトウェアインク日本支社
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