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【適用事例】半導体製造装置 金属セラミックス複合材料『MMC』
PR複合材料MMCの接合技術により、新たな用途への展開が可能になりました。
MMC同士を接合することで中空構造体の製造が可能になりました。接合技術で形成された内部流路に冷媒やガスを流すことが可能です。高熱伝導、低熱膨張を特長とするMMCは、温度による熱変形が少なく、組み込まれる部品への悪影響を防ぎます。 <冷却ジャケットへの適用> アルミナESCとの熱膨張差低減によるアーキング防止、高熱伝導、低熱膨張によるエッチングレート向上 <ウエハチャックへの適用> ...
メーカー・取り扱い企業: 日本ファインセラミックス株式会社
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タングステン・モリブデン・タンタル等の高温向けレアメタルの加工品
真空蒸着用ボート、フィラメント、EBガン、 高温炉用ヒーター、反射板、リフレクター、試料皿、 イオン注入装置用フィラメント...真空蒸着用ボート、フィラメント、EBガン、 高温炉用ヒーター、反射板、リフレクター、試料皿、 イオン注入装置用フィラメント...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社新栄特殊金属
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