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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
PR【試読できます】-成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄-
書籍名:先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 --------------------- ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか! 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 --------------------- ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…
『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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グローブボックスとラミナーフローブースを融合させたアイソレータ!
紙袋やドラム内の粉体を安全に手早く仕込むための化学品向け装置!作業性と…
Dec 社(スイス)が開発した Isochargeは作業者と周辺環境の暴露リスクを管理しながら、大量の袋やドラムの中の粉体の取り扱いをすることが可能です。 また、アイソレータへの容器(紙袋やドラム)の搬入は投入ドアを開放し...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社樋口商会
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粉体輸送装置 トランスバッチシステム 大量粉体の輸送に最適!
DEC(スイス)社が開発した化学プラント向け粉体輸送装置、従来困難であ…
【特長】 ・さまざまなプロセス設備の充填/排出(反応槽、乾燥器、遠心機、ホッパー等) ・ハンドリング困難な粉体(粒子径の大きい粉体、ボール状、フレーク状など)の輸送が可能 ・封じ込めレベル1μg/ m3以下 ・最小着火エネルギー1mJ以下の粉体輸送が可能 ・減圧または加圧下の密閉容器への直接輸送が可能 ...【導入メリット】 ・作業者の「安全性向上」と「生産性向上」を同時に実現 ・...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社樋口商会
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