マスクレス露光装置PALET『DDB-701シリーズ』

トライ＆エラーが必要不可欠な研究・試作用途に好適なマスクレス露光装置

『DDB-701シリーズ』は、MEMS技術の代表格であるフォトリソグラフィを、 卓上で、手軽に、思いのままに行えるマスクレス露光装置です。 装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現。 フローティング構造を採用することで振動を抑制し、 防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現し、 導入に際して障害となりやすい圧縮エアなどのユーティリティを取り除きました。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： ネオアーク株式会社 東京営業部