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紫外ウエハースクライビング装置『ULTRA SCRIBER』
高速加工による高効率!LD励起固体UVレーザー搭載のレーザーシステム
仕様】 ■レーザ: 固体レーザ355nm ■最大加工範囲:4インチ ■X-Y-Z・θ四軸プラットフォームシステム ■高速四軸駆動制御システム ■同軸画像CCDシステム ■グラナイト定盤防振装置 ■加工能力:9pcs/h-32pcs/h(結晶粒子サイズによる) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社デルファイレーザージャパン
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