【セラミックヒーター】窒化アルミ製　ワトローウルトラミック(R)

PRセラミックの中でも抜群の高熱伝導率性を有する窒化アルミ基板と特殊な発熱…

ワトローウルトラミック(R)は、半導体や電気自動車(EV) 等の開発において、好適なパフォーマンスを提供する窒化アルミヒーターです。 高い熱伝導性、急速な温度変化への対応能力、高温時でも安定した電気的特性、そして正確な温度制御が可能な熱電対内蔵構造を持つ当ヒーターは、高度な熱処理ニーズに応えます。 【特長】 ○熱伝導性の高い窒化アルミ基板を採用 ○急速昇温(最大150℃/sec)・急速降温に対応...

メーカー・取り扱い企業： 坂口電熱株式会社

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

ファインレベルスイッチ「KMLシリーズ」

KMLシリーズは、純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高…

薬液槽の液面検出に適した”エア方式”で 薬液雰囲気による腐食や引火の心配がなく、半導体製造、化学プロセスに最適です ■ 腐食・防爆対策が容易 接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できます。 ■設置コストを削減 蒸気、飛沫、雫、温度、薬液（刺激臭、引火性、腐食性）の影響を受けないため、 対策費用が抑えらえれ、設置も簡単です。 ■ コンパクト 槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ

50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールでき…

　0~50kPaまでの低圧制御が可能。 【高精度コントロール】 　ヒステリシス：0.5%F.S. 　分解能：0.2%F.S. 【クリーン】 　流路部ノングリス 【保護構造IP64】 　電気配線：M12コネクタ ■事例 　研磨力コントロールやCMP装置など...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

【電源レス】パルスブローバルブ 「NP1X, NAP1X」

電気レス パルスで飛ばし、パルスで減らす

特徴 ● オールエア 　電源不要で、追加制御機器不要 ● 軽量・コンパクト アルミボディを採用し、 　軽量・コンパクトを実現 ● バリエーション 　口径10～50A ● 耐久性（実力値） 　1億回動作後も安定したパルス波形を実現 ● 施工性 　直線配管により既存設備改造にも容易に対応...詳しくはカタログご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社