電子顕微鏡関連機器　電子線描画用パターン発生装置 SPG-724

お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能です。

もので行っています。SPC‐724をSEMに取付けることで、観察用のSEMが描画装置になるわけです。 SEM本体の他に必要なものは、ビームのオンオフを行うブランキング装置、露光量を測定するための電流計、描画パターンをブランキング装置や偏向器におくるパターン発生器とそれらを制御するコンピュータとなります。 【特徴】 ○アドオンスタイルのEBリソグラフィ用パターン発生装置 →様々なタイプ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社