サーボアンプ　CA350-011シリーズ

PR安定した高速駆動　高精度な制御を実現　

■特徴 CA350-011は、直動サーボ弁駆動用サーボアンプです。 指令入力電圧に比例して、サーボ弁のスプール位置を変位制御します。 出力にはPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能です。 サーボ弁のスプール部に設置したLVDTセンサによる変位信号を、電圧値でフィードバックすることにより高精度で制御します。 基板本体は100×139mmの樹脂製ケースに収められ、コンパクトかつ軽量に仕上がっていま...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

高圧窒素富化ガス発生装置『HND-RA』※作業事例も紹介中

PR【デモ機相談可能】100V電源で使用可。持ち運びやすくボンベ交換も不要…

『HND-RA』は、100V電源で使える高圧窒素富化ガス発生装置です。 ボンベを用いずに露点-40℃以下、濃度85％の窒素ガスを吐出・供給でき、 煩わしいボンベの搬送・交換作業が不要に。現場の省力化が可能です。 3種類の吐出圧力範囲に対応し、ロー付け部に負荷をかけない配管気密試験や スケールの少ないパージ作業など、様々な用途に使用できます。 【特長】 ■100V電源で使用可能 ■0～1.0、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サタコ

バッチ式プラズマクリーナー　PT-655S

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。

A5052）製 ○ステージ段数 標準3ステージ（オプション 増設1ステージ対応可） ○チャンバー寸法 幅500×奥580×高500ｍｍ ○ステージ寸法 幅340×奥420ｍｍ ○ＲＦ電源 600Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング ○処理ガス O2、Ar（オプション　1ライン増設可） ○パージガス N2（スローライン有） ○処理ステップ 10レシピ（3ステップ） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

バッチ式プラズマ処理装置　WPA-600S

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を…

【仕様】 ○処理方式 同軸バレル型 ○処理室 円筒・縦型・石英チャンバー ○ＲＦ電源 600～2000Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング ○処理ガス Ｏ２　1系統増設可（オプション） ○パージガス Ｎ２ ○処理ステップ 10レシピ（3ステップ）＋10ヒーターレシピ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

枚葉式プラズマ処理装置　WLP-611S、WLP-600S

価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…

【仕様】 ○処理方式 平行平板プラズマ励起方式（ＤＰ／ＲＩＥ切替可） ○処理室 ＡＬ製（シングルチャンバー） ○ＲＦ電源 600～1000Ｗ ○処理ガス Ｏ２　1000ＳＣＣＭ ○1系統増設可（オプション） ○パージガス Ｎ２ ○スループット 3000枚／400時間（ポリイミド膜１μｍエッチング時） ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト