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特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ
セトラ社のモデル225は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...デッドスペースが1.8mLと小さくパージが容易に行えます。 接ガス部はSUS316LのVAR材を0.18Raの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。 スライド式カバーに...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型
『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ
セトラ社のモデル224は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 モデル224はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...センサチャンバは316L(VAR材)を0.18Raに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプション...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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