【総合カタログ進呈中】超精密位置決めピエゾステージ

ピエゾステージの選定に！最高1nmの分解能と優れた応答性！応用例も掲載…

最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社