【分析事例】SNDMおよびSMMによる拡散層評価

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

ーパント活性化率には課題があり、出来栄え評価が重要となります。今回、SiC Trench MOSFETに関して、SNDM（走査 型非線形誘電率顕微鏡）にてキャリア極性判定をSMM（走査型マイクロ波顕微鏡法）にてキャリア濃度分布を評価した事例をご紹介します。　...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

Alluxa　バンドパスフィルター

独自開発されたコーティングチャンバーにより高性能なフィルターを提供！

AlluxaのバンドパスフィルタULTRAシリーズは、さまざまな光学系を最適化します！ そのコーティングは特許を取得したデポジション方法や独創的な コントロールアルゴリズムと自動化により難易度の高いトップハットで スティープなコーティングでも他の方法に比べ短時間で精度の高い製品を 提供します。 Alluxa USTRAシリーズのバンドパスフィルターは極めて狭帯域かつ高効率で、蛍光...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社