サーボアンプ　CA350-011シリーズ

PR安定した高速駆動　高精度な制御を実現　

■特徴 CA350-011は、直動サーボ弁駆動用サーボアンプです。 指令入力電圧に比例して、サーボ弁のスプール位置を変位制御します。 出力にはPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能です。 サーボ弁のスプール部に設置したLVDTセンサによる変位信号を、電圧値でフィードバックすることにより高精度で制御します。 基板本体は100×139mmの樹脂製ケースに収められ、コンパクトかつ軽量に仕上がっていま...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

直動式定流量弁『ユニフロー弁 UFシリーズ』

実証済みの性能！自由にできる流量設定、定流量コントロール弁のご紹介！

『ユニフロー弁 UFシリーズ』は、 内蔵する制御機能により、1次圧力が 変動しても関係なく自動的に所定の流量値が得られる直動式定流量弁です。 バランス構造の採用により、流量設定操作は送水圧力に関係なく低トルク 作動。独特の減圧機構により許容キャビテーション係数が非常に小さく 設定できます。 内蔵するリフト型調整弁によりリニア特性に近い流量制御ができ、定流量と 調整弁の機能を併せ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社横田製作所