サーボアンプ　CA350-011シリーズ

PR安定した高速駆動　高精度な制御を実現　

■特徴 CA350-011は、直動サーボ弁駆動用サーボアンプです。 指令入力電圧に比例して、サーボ弁のスプール位置を変位制御します。 出力にはPWM方式を採用し、安定した高速駆動が可能です。 サーボ弁のスプール部に設置したLVDTセンサによる変位信号を、電圧値でフィードバックすることにより高精度で制御します。 基板本体は100×139mmの樹脂製ケースに収められ、コンパクトかつ軽量に仕上がっていま...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

ナノプロービングシステム 「Prober Shuttle」

SEM / FIB用ナノプロービング（マニピュレータ）システム 「Pr…

ProberSHUTTLE（PS）は、SEM式ナノプロービング用途向けに特化して開発されました。 PS本体は既存の汎用SEM試料交換室経由で試料室内に導入されます。PSのプラットホーム上には最新のマニピュレータ（3軸）が最大4台まで配置され、SEM像をライブ観察しながら自在に制御できます。 ピエゾ駆動による最小動作分解能は0.25nm、プローブTip径(R)は最小30nmです。観察倍率に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス